短時間停電保護
①停電時冷阱與真空泵之間的隔離閥自動關閉。
②升華中若停電,箱、阱閥開啟,以利用冷阱中的冷量捕捉升華的水蒸氣。
③停電時,機器的程序狀態、運行數據、設定參數均自動存儲。
④復電時,程序按原中斷處重新運行,同時所有電機按設定順序依次啟動,以免多臺電機同時啟動對電網造成電流沖擊。
短時間停電保護
①停電時冷阱與真空泵之間的隔離閥自動關閉。
②升華中若停電,箱、阱閥開啟,以利用冷阱中的冷量捕捉升華的水蒸氣。
③停電時,機器的程序狀態、運行數據、設定參數均自動存儲。
④復電時,程序按原中斷處重新運行,同時所有電機按設定順序依次啟動,以免多臺電機同時啟動對電網造成電流沖擊。