電阻真空計又稱皮喇尼(Pirani)真空計或皮氏真空計。它由外殼和管芯(包括底蓋、玻璃絕緣子、熱絲和熱絲支架等)兩部分組成。圖8-15示出了其結構簡圖,圖8-16所示的為其電路原理圖。
R1是規管的電阻,R和R,為電位器,R3=R4,工作時,使規管暴露于大氣,調節R使真空計中電流達到規定值I,,且保持此值不變;再調節R2,使R2=R1,電橋達到平衡,I2=0.當規管中壓力降低時,電阻絲的溫度隨之升高,R,阻值增大,電橋失去平衡,I2≠0I,變化的大小,也就表示壓力變化的大小。電阻真空計上所指示的真空度,實質上就是I:經過校準、換算后給出的讀數。電阻真空計的測量范圍為10-1~100Pa。
電阻真空計是相對真空計,所測壓力與被測氣體種類有關,其校準曲線都是對干燥氮氣或空氣而言的。在用于測量干燥箱的真空度時,應將結果加以修正。由于干燥箱中的水蒸氣組分在整個升華干燥過程中是不斷變化的,所以即使按某一比例的水蒸氣量進行了修正,當在與此比例不同的條件下進行測量時,其結果仍然不是“真實”的真空度。
電阻真空計長期使用(尤其在1~100Pa壓力下)后,因熱絲氧化會引起零點漂移,因此要避免長時間暴瑤在大氣中或在高壓力下工作。
電阻真空計的規管測頭與被測空間是相通的,規管內蒸氣滅菌很困難,這樣可能因其滅菌不徹底而污染制品。