真空系統的彈性材料真空系統連接法蘭的密封墊圈，可活動部分的密封圈需用彈性材料，有時也用一些彈性管子進行可彎曲的彈性連接。這些材料的主要特點是真空氣密性好，彈性好，能耐一定的溫度，飽和蒸氣壓低，放氣率和滲透率小，常用的有氯丁橡膠、異丁橡膠、丁腈橡膠、硅橡膠、聚四氟乙烯、尼龍等。

天然橡膠有較高的彈性、機械強度和耐磨性，良好的耐水性、耐酸堿性，但其放氣量較大。一般用于1X10-JPa的真空系統，使用溫度為一30一80℃.

丁腈橡膠的滲透率小，耐油，適于做高真空系統的墊圈，工作溫度為一2080℃.

氟橡膠具有良好的真空性能，其放氣率及滲透率都很小，能耐較高溫度，除氣溫度可達250℃，工作溫度可達200℃，用于10×

10-8~10×10-1Pa的超高真空系統。聚四氯乙烯（塑料王）有良

好的耐熱和絕緣性能，工作溫度可達300℃，可用于超高真空系統。

一些彈性材料的性能如表4-2所示。