(1)大型微電子工業潔凈室的實例
1)用離心風機的集中循環方式(設顯熱盤管),主循環用AHU設在地面機房內,回風與新風(來自FAAHU )混合后,進入送風靜壓箱。
2)分散布置中型AHU方式(設顯熱盤管),三層結構,潔凈室頂部為主循環用中型AHU機房,新風AHU出風送入該機房,與回風相混合。廠房占地面積少,但廠房高度高,頂部設AHU有水患。
3)風機一過濾器單元+顯熱盤管,頂部用FFU回風,靜壓室內設SHCC,新風經FAAHU送入送風靜壓室。
4)標準廠房改建潔凈室,采用FFU,送風與回風靜壓層均在0. 75m。回風經玻璃直通道進入靜壓箱。SHCC水平安裝在通道頂部。新風經FAAHU送入送風靜壓層,高度小,經濟。
所有方案中對新風處理都十分重視,圖44-28為新風處理流程實例。
(2)制藥廠的潔凈室系統例制藥廠生產工藝中,關鍵性的潔凈生產部分空間有限,大多在IS07級(或更低)的潔凈室中,用層流罩構成封閉的高潔凈度環境(見圖44-29)。此外,在回風口設有空氣過濾器,對粉劑進行過濾后,空氣進入空氣處理箱。以避免車間之間交叉污染,在送風管路上。可設定風量裝置,以維持恒定的送風量。對于車間內產塵(藥粉)的操作點,可設置如圖44-30a所示的局部自循環吸塵機系統,以及圖44-30b所示的集中式吸塵系統。通過過濾器,使潔凈室空氣返回車間。