在真空技術(shù)中真空測(cè)量是與真空獲得具有同等重要而且密切相關(guān)的組成部分。因?yàn)橹挥型ㄟ^(guò)準(zhǔn)確和可靠的真空測(cè)量,才能掌握在真空容器中所獲得的真空是否達(dá)到了要求和滿足工藝條件。測(cè)量真空度的儀器稱為真空計(jì)或真空規(guī)。根據(jù)當(dāng)今已獲得的真空度范圍已寬達(dá)10?~<10ˉ12Pa,但沒(méi)有一種真空計(jì)能測(cè)量如此寬的壓力范圍,又因?yàn)椴煌婵諈^(qū)域的性質(zhì)也不相同,所以產(chǎn)生了許多品種的真空計(jì)。
原則上來(lái)說(shuō)真空計(jì)可分為絕對(duì)真空計(jì)和相對(duì)真空計(jì)兩大類。凡能從其本身測(cè)得的物理量直接測(cè)得氣體壓力的真空計(jì)稱為絕對(duì)真空計(jì),這種真空計(jì)測(cè)量精確度較高,主要用作校準(zhǔn)的基準(zhǔn)量具。當(dāng)壓力低于100Pa很難進(jìn)行直接測(cè)量時(shí),產(chǎn)生了利用氣體在低壓力下的某些物理特性(如熱傳導(dǎo)、電離、黏滯性和應(yīng)變等)與壓力的關(guān)系作間接測(cè)量的相對(duì)真空計(jì),它必須用絕對(duì)真空計(jì)標(biāo)定和校準(zhǔn)后才能用于真空測(cè)量,其測(cè)量精確度較低,但它能直接讀出被測(cè)壓力、使用方便,在實(shí)際應(yīng)用中占絕大多數(shù)。