電阻真空計又稱皮喇尼(Pirani)真空計,是測量低真空的相對真空計。它的測量范圍一般為<10?~10ˉ1Pa。隨著電阻式規(guī)管的改進(如對流導熱結(jié)構),測量上限擴展到10? Pa。
電阻真空計主要由電阻式規(guī)管和測量電路兩部分組成,電阻式規(guī)管(圖2-33)是在管殼內(nèi)封裝著一條電阻溫度系數(shù)較大的電阻絲,常用的是如?0.025~0.1mm鎢絲或鉑絲。測量時,規(guī)管與被測真空系統(tǒng)相接。在較低壓力下,熱電阻絲的電阻值取決于其周圍氣體的壓力。
電阻真空計的測量電路,根據(jù)測量要求,其結(jié)構有定壓式電路、定流式電路及定溫式電路三種。
(1)定壓式電路:維持熱絲的加熱電壓不變,測量流過熱絲的電流來作為壓力的指示;
(2)定流式電路:維持熱絲的加熱電流不變,測量熱絲兩端的電壓來作為壓力的指示;
(3)定溫式電路:維持熱絲的加熱溫度不變(也就是電阻不變),測量熱絲的輸人功率來作為壓力的指示。如果從電路的角度來看,定壓式電路和定流式電路并沒有本質(zhì)上的區(qū)別。