由于故障的層次特性，故障原因和后果之間往往具有多層的關系。故障樹診斷技術是以系統最不希望發生的事件(頂事件)為分析目標，以可能導致頂事件發生的其他事件為中間事件或底事件，按樹枝狀逐級細化，依次找出系統的全部故障因素，其最底層為故障機理已知的基本事件。

故障樹分析包括定性與定量分析，借助故障樹和Boolean代數邏輯運算法算出最小割集，利用De Morgan律計算出最小徑集，找出導致頂事件發生的所有可能的故障模式，并求出頂事件發生的特征量和底事件的重要度。

將故障樹用于溴化鋰吸收式制冷機組的故障診斷中，來分析“冷劑水損失”和“冷劑水污染”問題，通過分析和計算，將基本事件的重要度分級，從而找出系統中最薄弱的因素，同時給出計算頂事件發生概率的精確及近似算法，由此實現用故障樹對溴化鋰吸收式制冷機進行故障模式識別、預測和診斷。而且通過重要度分析，可改進設計，實現系統優化，也可以對系統實行風險評價。