在使用油擴(kuò)散泵或分子泵的高真空環(huán)境中（10^-1~10^-5Pa）都存在著一定的殘余氣體，其中80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸點(diǎn)的蒸汽。由于水的分子量比氮?dú)狻⒀鯕狻⒍趸嫉葰怏w的分子量小，分子泵和油擴(kuò)散泵對(duì)其抽空能力表現(xiàn)較差，所以水蒸氣對(duì)抽真空的速度影響最大，從而使產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量受到影響。深冷水汽捕集泵則是解決以上問(wèn)題的上佳選擇。

深冷捕集泵的工作原理：深冷機(jī)組將一段冷凍盤(pán)管（銅管或不銹鋼管）制冷到-120℃以下，將冷凍盤(pán)管放置在真空系統(tǒng)中的任何部位，由于水蒸氣的水分子呈無(wú)規(guī)則運(yùn)到狀態(tài)，最后撞擊到盤(pán)管冷凍部位后，通過(guò)其表面的低溫冷凝效應(yīng)，被凝結(jié)成固體狀態(tài)，水蒸氣變成了固態(tài)冰，水分子不再進(jìn)入真空系統(tǒng)中運(yùn)動(dòng)，這就達(dá)到了一種抽真空的效果，從而大大縮短抽真空的時(shí)間（可縮短30—60%的抽氣時(shí)間），獲得潔凈的真空環(huán)境。這種專門(mén)在真空系統(tǒng)中捕集水蒸氣（或氣體高沸點(diǎn)的氣體）的設(shè)備被稱之為“深冷水汽捕集泵”，它被廣泛應(yīng)用于真空鍍膜、航天軍工、衛(wèi)生醫(yī)療等領(lǐng)域。